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特種氣體的供氣系統

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  通常特種氣體根據氣體性質不同分為惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體,不同的氣體的供氣系統不同,今天我們就給大家介紹一下它的供氣系統。
  1、簡單供氣系統
  簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等,它們的制程簡單,通常不需要連續性供氣,對氣體供應系統的投資預算低,由于氣體流量小,不經常使用,簡單供氣系統通常存在安全隱患。
  2、常規供氣系統
  常規供氣系統主要應用于4-6英寸大規模集成電路廠,50MW以下的太陽能電池生產線,發光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規模的電子行業,對氣體純度控制的要求不苛刻,系統配備在滿足安全的前提下盡量簡單,節省投資。
  3、大宗特氣供氣系統
  大宗特氣供應系統采用全自動PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器,可實現自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空;多重安全防護措施,泄漏偵測,遠程緊急切斷;專用氮氣吹掃起源等等。特種氣體采用獨立氣源,多用點采用VMB或VMP分路供應,VMB或VMP采用支路氣動閥,氮氣吹掃,真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大,多采用獨立的氣體房,獨立的抽風系統。

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